MEMS

MEMS

Santec 公司从2002年开始在光通信用器件商使用MEMS技术。在与东京大学的藤田、年吉研究室的共同开发中巩固了基本性设计,之后向MEMS 代工厂提出制造委托,2003年产品化了如图1所示的应用了MEMS技术的可变光衰减器。

关于MEMS

MEMS 是 Micro Electrical-Mechanical Systems 的缩写,直译成中文就是微机电系统,即指非常微小的电动机械。现今已被应用于各个领域,在我们身边也可以发现很多,譬如能对人体的运动作出反应的游戏控制器用加速度传感器、手机和电脑用的微型麦克风,在演讲中被使用的投影仪用小型镜子阵列等等。相对于过去在机械加工中使用钻头等的工具来切割材料的情况,MEMS是使用用于生产LSI等的半导体制造技术来制作的。因此能以数微米(1微米为0.001毫米)的精度来制作微型机械,各个零部件都可以达到最小化。同时,与半导体产品同样可以做到高产量,低成本。





用于光通信用器件

Santec 公司是从2002年开始在光通信器件中使用MEMS技术。在与东京大学的藤田、年吉研究室的共同开发中巩固了基本性设计,之后向MEMS 代工厂提出制造委托,2003年将使用了MEMS技术的可变光衰减器商品化,如图1。用电气学来比喻的话可变光衰减器就是像可调变阻器一样的存在,是光通信网中到处被使用的重要零器件。图2是Santec公司开发的MEMS设备的照片。加入了被称作为非对称驱动型平行平板型倾斜镜的独特想法来达到了构造的质朴,并在短期内迈向实用化。现已被广泛使用,支撑着世界光通信系统的通讯基础设施。

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新应用领域

进行MEMS的医疗机器方面应用的新课题研究。图3是使用了MEMS的内窥镜用探测器。通过配合Santec公司研发的OCT(Optical Coherence Tomography)的使用,期待能实现被称作为光活检的对人体无损的非侵袭性最尖端医疗技术的突破。

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